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超高真空抽气机组
适用压力区域:10-5Pa-10-8Pa
常用主抽真空泵:分子泵,离子泵,升华泵,锆吸气泵,低温泵。
应用:表面光亮,热能反应,高能物理,半导体研究,空间模拟等。
超高真空排气台特点极限压力低:≤10-7Pa 工位范围大:1-16 可定量充入工作气体。应用:真空器件的超高真空排气、充气、封接
 
超高真空排气台  

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